【设备功能及应用】
设备使用阵列式微波源设计,生成极高密度的等离子体,快速去除材料表面微观污染物。集成先进自动化控制系统,配置高效自动上下料机构,无缝衔接产线上下游设备,大幅提高生产效率。
【产品特点】
• 无损伤清洗
• 高密度等离子体
• 清洗均匀性好
• 大面积清洗效率高
• 优秀的去氧化能力
• 先进的自动化控制系统
【主要规格】
微波功率 | 2.45GHz, Max 2000W |
腔体尺寸 | W370mm✕D560mm✕H70mm |
腔体材质 | 航空级铝合金 |
气路系统 | 标配2路MFC,更多需求可定制 |
真空规 | Pirani真空规 |
真空泵 | 干泵或油泵可选 |
腔体真空度 | 优于5Pa |
工作流程 | 自动上料+自动清洗+自动下料 |
控制系统 | 工业计算机控制 |
电源 | 380V,50/60Hz |
更多详情~请电话咨询: 18300005892(惠)