微波等离子射流清洗机MWJ-16
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微波等离子射流清洗机MWJ-16

高规格生产,保证清洗均匀性

【设备功能及应用】

主要用于芯片贴装、引线键合、底部胶填充、模塑等半导体封装工艺前的清洗和表面活化,有效去除封装物料表面的有机污染物和氧化物,提高界面粘接和键合性能,大幅优化封装良率。配置大容量腔室和先进的电极及结构设计,在高效生产的同时保证了良好的清洗均匀性。


【产品特点】

• 无电极损伤,无污染源,长寿命

• 高气压下维持等离子体

• 较高的电离和分解程度

• 微波发生器稳定,易控制

• 等离子羽流长度、等离子覆盖面积时域调整

• 无自偏压,不会对精密电路造成任何损坏

• 等离子体温度低,不会对产品造成连带损伤


【主要规格】

外形尺寸

射流头R73.4xH129.2mm;

控制箱280x419.5x140mm

输出功率

50~250W

输出频率

2.45GHz

频率误差

±50ppm

微波泄漏

<2mW/cm²

供电电压

AC220V±10%

供电频率

50Hz±2Hz

启动模式

本地模式/IO模式

最大驻波比

2:1

工作模式

连续波CW


更多详情~请电话咨询: 18300005892(惠)