真空系统对于手套箱工作的重要性及影响

作者:opto-intel 日期:2023-11-21 11:16:46 点击数:

真空系统是惰性气体手套箱的重要组成部分之一,也是使之达到高可靠性的气密性封装条件的关键部分,它对手套箱正常工作有着非常重要的意义。

手套箱的真空系统主要有真空管道、截止阀门、真空泵和真空规共同构成,其中最核心的部分就是真空泵。手套箱配备的真空泵有好几种用途,分别是真空烘箱抽真空、真空传递箱抽真空、手套箱体负压获得和氮气纯化系统再生抽真空。而不同类型的真空泵会对手套箱的工作产生不同的影响,一般来说,配初级机械泵就能保证手套箱的正常工作状态,通常可选择干泵或油泵;不过,除此之外还有配分子泵等高真空泵,应用于高真空场景。真空泵的选择取决于具体的应用要求,如抽气速度、极限压力和气体兼容等,像一些高端用途的真空烘箱可能会要求配高真空泵(比如分子泵),目的是为了更快速的去除水汽。

真空/压力计的作用是测量手套箱内的压力。手套箱上使用的真空/压力规需要根据真空度或压力监测要求来配置。监测真空烘箱或传递箱内部是否处于(粗)真空或大气压力环境时,采用压力计;监测真空烘箱的极限真空度或工作真空度时,采用皮拉尼真空规。如果配了高真空泵,那通常还要配备相应的高真空规,比如离子规。

在手套箱的使用过程中,对真空的要求并没有统一的标准,通常箱体内的水、氧均达到1PPM以下即可满足绝大多数用途,这样便能保证整个系统始终保持高洁净和高纯度的惰性气体环境。



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