English作为真空等离子清洗技术，选取的工件器件首先得是要能真空兼容的。因为，在真空环境下，一些材料的性质可能会发生变化。有的材料会在真空下因内部气压而自身体积发生膨胀，有的材料会在真空下因释放大量内部物质而发生收缩或变得干燥。另外，真空下的材料散热情况与大气下有很大差异，可能会导致某些工件器件不能正常工作。
因此，简单来说，对于需要真空等离子清洗的工件器件，得确保其能够在真空环境下不会释放有害物质，也不会发生内压爆炸的现象，这是安全操作的前提。
那么，当工件器件满足真空兼容的条件，一般都是可以用于真空等离子清洗的，只是要选择合适的工艺气体，比如氧气/氮气/氩气/氢气等。另外，当使用这些常规气体作为微波等离子清洗的工艺气体时，清洗工艺对真空腔体通常也不会有什么影响。